Компания ООО «АкадемВак» выполняет разработку, проектирование и изготовление вакуумных установок для нужд микроэлектроники, оптической промышленности, научных исследований и др. Установки модельного ряда ACADEMVAC являются аналогами импортного оборудования, ввоз которых на территорию РФ на данный момент не представляется возможным.
Краткое описание установок из модельного ряда ACADEMVAC:
ACADEMVAC Tabletop - серия компактных вакуумных установок с функциями полногабаритных установок, которые помещаются на столе. Подходит для целей напыления металлов, оксидов, нитридов при отработке технологий, производстве МЭМС и др.
ACADEMVAC-M/T - серия универсальных вакуумных установок магнетронного и/или термического распыления для получения тонкоплёночных покрытий высокого качества. Установка имеет расширенные аналитические возможности для осуществления прецизионного контроля при отработке технологического процесса.
ACADEMVAC-PRO - серия автоматизированных промышленных вакуумных установок. Выполнение процессов напыления тонких пленок с высокой точностью и повторяемостью. Установка может быть оснащена электронно-лучевым испарителем с несколькими тиглями большой загрузки для нанесения нескольких материалов в одном технологическом процессе. Система оптического спектрального контроля позволяет получать покрытия с заданными характеристиками с проведением контроля непосредственно во время напыления.
